精密加工是加工中的精加工過程。根據待加工工件的溫度狀態，分為冷加工和熱加工。一般在室溫下加工，并不會引起工件化學或物理相變化，稱冷加工。通常，高于或低于正常溫度狀態的處理將導致工件的化學或物理相變化，這被稱為熱處理。根據加工方法的不同，冷加工可分為切削加工和壓力加工。熱處理是常見的熱處理，鍛造，鑄造和焊接。

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1.高精度

  包括高靜態和動態精度，主要性能指標有幾何精度，運動精度（定位精度，定位重復性）和分辨率，如主軸旋轉精度，導軌運動精度，分度精度等。目前，超精密車床的主軸精度大多為0.02?0.03μm，導軌的直線度為0.025 / 1000000，定位精度為0.013μm，重復定位精度為0.006μm，進給分辨率為0.003μm ，分度精度為0.5“，大多數現代精密和超精密機床均采用靜壓軸承。或者空氣靜壓軸承的主軸和導軌，精密滾珠絲杠傳動，配有微動臺，誤差補償裝置，實現微位移。對于高速旋轉部件和組件應該進行平衡。

2.高剛性

  包括靜態剛度和動態剛度，除零點外，零件本身的剛性，還應注意接觸剛度，并應考慮工件系統，機床，工具，夾具等組成的工藝系統的剛度。雖然精密機床和超精密機床沒有較大的切削力，但機床變形對精度影響很大。

3.高穩定性和可維護性

設備運輸，倉儲，安裝調試后，應能在規定的工作環境下長期保持準確，抗干擾，穩定運行。因此，加工設備應具有良好的耐磨性，抗振性和熱穩定性。

4.高度自動化

為了保證加工質量，減少人為因素的影響，現代精密機床和超精密機床配備了先進的數控系統，實現自動控制，或采用計算機控制實現自適應控制，優化等。確保零件生產和加工要求。

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